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石墨和陶瓷基複合材料加工
由人造石墨和陶瓷基複合材料製成的組件被廣泛應用於工業領域。
常見的例子包括真空爐的結構部件、極端高溫條件下的隔熱材料、以及碳碳複合材料的裝料系統等。
由於該材料具有極佳的耐熱性和耐化學性,它也適用於航空航天工業(如:航空發動機的製造)和核工程等領域。
我們的技術:
石墨純化 (COV系列爐型)
石墨基材料在真空爐製造、半導體產業、能源領域、化學工業和核子技術等領域中提供了多種可能的應用。 如果要將它們用於高純度的應用中(如:半導體生產),石墨部件本身必須表現出與待處理產品具有相似或更好的純度。 因此,在製造過程中所產生的污染必須保持在最低限度。
石墨提純在最高可達 2400 °C 的溫度和在真空或氣體分壓條件下進行。 由於許多微量元素(特別是金屬)會形成對高溫非常穩定的碳化物,因此需要藉助氯和氟進行純化。 氯和氟可以以相對無害的化合物的形式配合工藝,並且一直到進入爐腔後才會釋放它們的反應活性,從而達到純化效果。
部分典型石墨純化應用,包括:
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用於真空爐和單晶爐系統的石墨加熱元件
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真空爐結構與單晶爐的隔熱石墨氈
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外延和塗層系統的石墨盤以及料架
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熱解碳,碳化矽,碳化鉭和氮化矽塗層 (CVD, Pyrolytic Carbon, SiC,TaC and Si3N4)
在各種應用中,石墨材料被用作功能性塗層(特別是熱解碳和碳化矽以及碳化鉭),從而達到提高零件的使用壽命或耐化學性等目的。 這些塗層一般透過 CVD 製程實現。 CVD 製程在分壓或略低於大氣壓力的高溫下進行。 它們在溫度均勻性、控制精度以及製程氣體控制方面均有特殊的要求。
PVA擁有模擬溫度分佈和氣體流動的處理方法,從而使得特定製程的系統設計能夠適應客戶的應用。
我司與各個客戶的工藝師保持密切的合作關係,幫助他們開發和建造 CVD 反應爐,並在公平競爭環境中為其提供全面的專業知識。
CVD塗層爐的典型例子,包括:
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碳纖維塗層
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賽車運動中的煞車部件
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航空航天零件
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真空爐和晶體生長爐零件
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陶瓷基複合材料塗層
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陶瓷基複合材料熔滲
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MOCVD石墨托盤
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