工藝介绍
將多晶原料裝入底部有籽晶的坩堝中,透過電阻加熱器將原料加熱使其熔化。 設定溫度區,以便原料優先在坩堝中熔化,籽晶也會部分熔化。 然後相對於坩堝,對溫度區進行移動,既可以透過機械方式移動坩堝/加熱器,又可以透過控制不同加熱器元件來改變溫度區。 熔體最開始會在較低的區域逐漸冷卻,隨著熔體結晶,晶體在坩堝中開始生長。 受熱區緩慢向上移動,這意味著凝固前緣也緩慢向上移動。 結晶速度取決於溫度區域移動的速度。
VGF垂直梯度凝固法可用於工業生產砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)和磷化鎵(GaP)等晶體,生產的晶體可被光電學(LED和雷射系統)、半導體技術、高 頻技術、太陽能技術和電信技術等多個高科技產業廣泛應用。
應用
PVA TePla模組化的Kronos系統,可幫助工業公司高效生產複合半導體晶體,如:砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)、鍺和氟化鈣(CaF2)。
PVA MultiCrystallizer系統,專為制取光伏產業所必需的多晶矽錠而量身打造