垂直梯度凝固製程(VGF)

VGF系統專為製成缺陷密度最小的單晶化合物半導體晶體,以及生產用於光電學(LED和雷射系統)、半導體材料及技術、高頻技術、太陽能技術和電信技術等高科技產業所需的 砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)和磷化鎵(GaP)晶體而量身打造。 VGF垂直梯度凝固法,又稱為“定向凝固法”或“布里奇曼晶體生長法”,是晶體生長主要方法之一,可用於研發部門的技術研發。

工藝介绍

將多晶原料裝入底部有籽晶的坩堝中,透過電阻加熱器將原料加熱使其熔化。 設定溫度區,以便原料優先在坩堝中熔化,籽晶也會部分熔化。 然後相對於坩堝,對溫度區進行移動,既可以透過機械方式移動坩堝/加熱器,又可以透過控制不同加熱器元件來改變溫度區。 熔體最開始會在較低的區域逐漸冷卻,隨著熔體結晶,晶體在坩堝中開始生長。 受熱區緩慢向上移動,這意味著凝固前緣也緩慢向上移動。 結晶速度取決於溫度區域移動的速度。  

VGF垂直梯度凝固法可用於工業生產砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)和磷化鎵(GaP)等晶體,生產的晶體可被光電學(LED和雷射系統)、半導體技術、高 頻技術、太陽能技術和電信技術等多個高科技產業廣泛應用。

應用 

PVA TePla模組化的Kronos系統,可幫助工業公司高效生產複合半導體晶體,如:砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)、鍺和氟化鈣(CaF2)。  

PVA MultiCrystallizer系統,專為制取光伏產業所必需的多晶矽錠而量身打造

 

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