換能器數據採集 / 系統化,超精確
各個像素的資訊會被匯總產生一個顯示所有記錄訊號的影像。 首先,樣品表面的超音波反射會被顯示出來。 如果樣品是完好無損的,訊號會在樣品的背面再次反射。 根據樣品的上側和下側的兩個訊號到達的時間差可以得到關於樣品厚度的資訊。 如果樣品有缺陷,樣品和缺陷之間的這個界面也會導致超音波反射的發生。
頻率和分辨 / 無可比擬的,特定的
超音波掃描顯微鏡的工作頻率可達千兆赫。 一般來說,超音波頻率越高,可實現的解析度就越高,而聲波的穿透能力就越弱。
由於耦合介質中的衰減隨著頻率的升高而呈現四次方增加,因此鏡頭必須盡可能靠近被偵測的樣品。 同時需要安排一種在滿足這種低工作距離和創建提供高局部分辨率換能器的掃描顯微鏡,在這種顯微鏡下,樣品被逐個像素地檢測。
高解析度換能器的進一步開發有助於分析系統能夠提高測量精度。 目前,超音波掃描顯微鏡提供的最高頻率範圍可達1000 MHz,解析度可到0.8 µm,取決於檢測樣品的材料和密度。
根據超音波測試探頭的工作頻率,可達到以下成像解析度: