超音波掃描顯微鏡 - 技術 / 詳細介紹

超音波掃描顯微鏡,被廣泛應用於微電子學,生物學和醫學,以及材料科學等多個領域。 其獨特處在於:它可以對樣品表面和內部結構進行無損檢測,例如應用於製造晶圓,MEMS系統以及大規模積體電路中。 在紅外線顯微鏡或X射線顯微鏡已達到極限的情況下,超音波掃描顯微鏡仍能可靠地顯示出不透明樣本的內部品質。