超声波扫描显微镜 - 技术 / 详细介绍

超声波扫描显微镜，被广泛应用于微电子学，生物学和医学，以及材料科学等多个领域上。其独特处在于：它可以对样品表面和内部结构进行无损检测，例如应用于制造晶圆，MEMS系统以及大规模集成电路中。在红外显微镜或X射线显微镜已经达到极限的情况下，超声波扫描显微镜依然能够可靠地显示出不透明样品的内部质量。