雷射量測系統

SIRD（去極化紅外線掃描）系統是一種透射式暗場平面偏光鏡。在檢測時，固定位置的線性偏振光束穿透待檢查的晶片。晶體結構完美且無應力的情況下，光束的偏振不會改變， 但是，如果晶體中存在剪切應力或缺陷，光束會因為應力引起的雙折射效應而造成去極化的現象。 

 

功能概述： 

SIRD的工作方式與唱片機類似：晶圓在轉台上旋轉，並在半徑方向間歇或是連續性螺旋移動 

根據預先設定的測量參數記錄數據，可自由選擇最小或最大半徑 

測量時間取決於選擇的橫向分辨率（≥50 µm）以及掃描速度（最大約1 cm² s⁻¹） 

以圖的方式來呈現最重要量測結果，例如：去極化和透視度 

 

SIRD 的工作原理與 ARD(Alternating Retarder Depolarization)原理一致，能夠區分不是由雙折射引起的去偏振分量，因此，即使是最小的應力差異，也有可能測量到（>100 Pa）。