COV型真空爐，其特點是加熱器和由石墨或碳纖維複合材料製成以及墨氈製成的隔熱層，是用於高溫工藝的電阻加熱加熱器系統。 ，氮化矽和熱解碳等應用提供非標客製化CVD/CVI反應爐以及氟離子清洗和CVA爐。提供客製化陶瓷化基複合材料的化學氣相沉積（CVD和CVI）交鑰匙系統和解決方案。
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首先在真空環境下對大量產品進行高溫清洗。在此過程中，揮發性成分被熱力排出，接著進一步使用鹵化氣體處理，確保氯和氟能在工藝中作為有效的反應物。典型的最高工藝溫度可以達到2200℃，但在個別情況下可以達到2400℃。
在極端的工藝條件下，我們必須要充分地考慮到安全問題，並準確地掌握所使用材料的特性。
在選擇所使用的材料和部件時，需要考慮到反應性氣氛，以確保系統能有最長的使用壽命。
為了符合德國TA Luft空氣品質法規等要求，我們使用的工藝氣體及其反應產物需要對廢氣進行後續處理。這種後續處理通常是由一個氣體洗滌器來執行，並與該系統相配合的批量處理設備完成了整套服務。
為了給石墨部件塗層，需將前軀體引進反應爐室，有些時候還需要以液體來進行計量，這些前體在反應室中分解成活性成分，然後這些成分在爐內氣氛的條件下，作為功能性塗層沈積在部件上，工藝溫度通常高達1800℃。
要讓塗層工藝成功，就要仔細考量有效空間裡的溫度曲線、氣體的流動，還有工藝氣體中與位置相關的溫度等因素。
為確保符合德國TA Luft空氣品質法規等標準，使用的工藝氣體及其反應產物需要對廢氣進行後處理，該後處理一般是使用氣體洗滌器進行。
