條形等離子系統

80 Plus

80 Plus 等離子系統專為半導體加工開發,具有手動與自動操作,兩種操作方式皆簡單易用。本系統可配備或不配備裝卸站;另外,每個裝卸站皆可支援不同的配置。即便沒有裝卸站,也可將其整合到生產線中。 

該軟體直觀,符合目前半導體產業的標準,其主要應用領域是表面的活化與清潔。 80 Plus系統操作尤爲高效,加上其等離子技術,使用它進行等離子處理僅需幾秒鐘即可完成。

 

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80 Plus 等離子系統具有兩種電極配置

離子配置


射頻為 13.56 MHz 的電磁輻射經由電極送入腔室,以透過加速離子實現表面轟擊。 除了此種物理效應,還有一種化學效應,但相較於使用微波頻率,它獲得的效果較小。 

千兆配置


如若等離子設備配有微波發生器,則使用 2.45 GHz 的頻率。腔室中沒有電極;微波在真空室外部產生,然後透過天線或波導輸入。具有此種配置的等離子體以純化學方式工作。