IoN系列等離子系統

IoN 系列等離子機具有多種射頻電源選項,可滿足客戶特定製程及產量要求。我們提供不同腔體及電極配置,最大腔體高達 1200 公升。 

聯絡我們

想要瞭解更多?

我們將全力支持您! 

sales-tw@pvatepla.com

PVA TePla  IoN 10Q 是一款桌上型全功能射頻等離子機,可用於批量晶圓去膠以及清除殘膠,專為實驗室及量產使用而設計,最多可處理25片晶圓,晶圓最大尺寸為150 毫米。 

PVA TePla IoN 100-40Qshi是一款功能齊全的射頻等離子機,可用於批量晶圓去膠以及清除殘膠,專為實驗室及量產使用而設計,最多可處理50片晶圓,晶圓最大尺寸為200毫米。 

PVA TePla IoN 單片晶圓去膠機是一款功能齊全的先進射頻等離子機,可用於單片晶圓去膠以及清除殘膠,專為實驗室及量產使用而設計,可處理最大的晶圓為200毫米。 

PVA TePla  IoN 200 是一款功能齊全的射頻等離子機 ,可用於表面改性,專為實驗室及處理大型基板或大量生產而設計。 此機台也為等離子增強化學氣相沉積應用提供了獨特的功能。 

PVA TePla  IoN 40 是一款功能齊全的桌上型先進射頻等離子機,可用於表面改性,專為實驗室及量產使用而設計,適用於處理較小的基板或中小產量。 此機台也為等離子增強化學氣相沉積應用提供了獨特的功能。