FZ区熔系统

PVA的FZ区熔系统具有独特的行业前瞻性,可更好的为半导体行业提供全面解决方案,我们的优势如下: 

  • 通过收购丹麦 Haldor Topsoe公司,PVA TePla在区熔(FZ)系统设计领域拥有数十年的专业设计经验 

  • PVA TePla与高频发生器领域的技术领先企业长期合作。选择合适的发生器并使其适应各自的FZ区熔系统,以保证系统的最佳性能。 

  • PVA TePla提供适用于关键部件(例如掺杂气体系统或再冷却系统)的各种系统类型的全面解决方案 

  • PVA TePla通过与德国最知名的研究机构的合作,在系统设计、自动化和工艺开发领域追求持续发展。 

  • PVA TePla的产品与竞争对手的工艺相比,在成本效率和可持续性方面都更胜一筹。 

区熔(FZ)技术作为提纯方法为生产高电阻率的超纯硅单晶提供了技术可行性,该技术可应用于高性能电子和半导体技术领域。其另一优点是可以从气相中连续掺入,这使得在整个晶体的电阻率沿长度方向保持一致。因此,几乎可以在整个晶体上均匀地实现所需的电性能。由于电荷载流子的高寿命和极低的氧含量(无坩埚工艺)导致的低降解,FZ晶体同样也适用于光伏行业。 

区熔(FZ)技术作为提纯方法与CZ直拉工艺等竞争方法相比,FZ工艺的优势在于只有紧邻感应线圈的一小部分晶体需要被熔化,并且拉速明显提高,因此降低了耗材成本(没有石英坩埚,只能使用一次)的同时也降低了能源成本。此外,无论是从硅还是其他合适材料中提取的晶体,可以通过多次处理并显著地提高纯度。

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区熔系统概览

  • FZ-14 區熔晶體生長系統

    FZ-14 區熔晶體生長系統,專為直徑達100毫米(4英吋)單晶矽的工業生產所設計。依據源棒的尺寸,可以拉出長度達1. 1米的晶體。在此過程中,可透過攝影系統來監測晶體的直徑和液體區的高度。此外,這套系統的上部主軸和線圈均具備自動定位功能。這套系統採用無接觸熔化工藝,透過使用渦輪分子泵和高純度氬氣作為工藝氣體,創造高度極限真空環境,有效地防止工藝過程中的污染,同時還能以可控方式引入氮氣到工藝爐體。 

    PVA TePla為您提供更多個性化選擇,包括用於摻雜的氣體摻雜系統、封閉式去離子冷卻水系統、原料棒的修整器和調整籽晶方向的系統。 

    產品資訊概覽:

    材料:矽 

    晶體  
    晶體 1,100 mm
    晶體拉動長度: 長達100 mm (4″)
    晶體直徑: 2.5 x 10-5 mbar
    極限真空度: 0.5 bar(g)
       
       
    發電機    
    輸出電壓: 30 kW
    頻率: 2.4 MHz
     
    上軸 
    進料速度: 最高30 mm/min
    上部旋轉: 最高35 rpm
    下軸  
    拉動速度: 最高 30 mm/min
    下部旋轉: 最高 30 rpm
       
       
    尺寸規格  
    高度 6,280 mm
    寬度:   2,750 mm
    深度: 3,000 mm
    重量(總): 約 4,900 kg
  • FZ-14M(G) 區熔晶體生長系統

    FZ-14M(G)區熔晶體生長系統,專為製備單晶矽晶體樣品所設計開發,用於工業多晶矽生產中的材料分析。在生產過程中的小型多晶體樣品,在氬氣環境中感應熔化,隨後在籽晶上結晶,形成單晶,然後進行光譜分析,以檢測和記錄所生產的多晶矽品質。該系統採用無接觸熔化工藝,透過使用渦輪分子泵和超純氬氣作為工藝氣體,創造高極限真空環境,有效地防止了工藝過程中的污染。 

    FZ-14M(G) 區熔晶體生長系統能在線圈下放置顆粒矽料,利用籽晶將熔融的顆粒矽拉出以用於材料分析的小單晶棒,在拉制過程中,顆粒矽容器和籽晶以相反方向旋轉。此外,上主軸還可以在X或Y方向移動。 

    產品資訊總覽: 

    材料:矽  

    晶體   
    晶體拉動長度 350 mm
    晶體直徑: 最長可達 25 mm
    最後真空度: 2.5 x 10-5 mbar
    最大過壓: 2 bar(g)
       
       
    發電機    
    輸出電壓: 15 kW
    頻率: 2.4 MHz (FZ-14M)
     
    上軸 
    進料速度: 最高 30 mm/min
    上部旋轉: 最高 30 rpm
    下轴  
    拉动速度: 最高 30 mm/min
    下部旋转: 最高 30 rpm
       
       
    尺寸规格  
    高度: 3,000 mm
    宽度: 1,020 mm
    深度 1,640 mm
    面积(总): 1,800 mm x 4,000 mm
    重量(总):   约2,500 kg
  • FZ-30和FZ-35 区熔晶体生长系统

    FZ-30和FZ-35区熔晶体生长系统专为工业生产直径达200毫米(8英寸)的单晶硅晶体而设计。根据源棒的尺寸,可以拉出长度为2000毫米的晶体。在这个过程中,晶体的直径和液态区的高度可以用摄像系统来监测。该系统采用无接触熔化工艺,通过使用涡轮分子泵和超纯氩气作为工艺气体,产生高极限真空环境,有效地防止了工艺过程中的污染。 

    在FZ-30和FZ-35区熔晶体生长系统中,可以分别以高达3 bar和5 bar的超压产生氩气气体,用以培育大晶体。同时,上主轴和线圈都可实现自动定位。在FZ-30中,上主轴可以在X或Y方向上移动。两种系统类型都能够以受控方式将氮气引入工艺炉体。PVA TePla为您提供更多个性化选择,例如用于掺杂晶体的气体掺杂系统、封闭式去离子冷却水系统、源棒的修整器和调整籽晶方向的系统。 

    产品数据概览:

    材料:硅 

    晶体   
    晶体拉动长度: 2,700 mm
    晶体直径: 长达 200 mm (8")
    极限真空度: 2.5 x 10-5 mbar
    最大过压: FZ-30: 3.0 bar(g)
    FZ-35: 5.0 bar(g)
       
    发电机
    输出电压: 120 kW
    频率: 2.4 MHz
       
    上轴   
    进料速度: 高达 30 mm/min
    上部旋转: 高达 30 rpm
    下轴  
    拉动速度: 最高 30 mm/min
    下部旋转: 最高 30 rpm
       
    尺寸规格  
    高度: 11,550 mm
    宽度: 3,800 mm
    深度: 4,050 mm
    面积(总计): 5,000 x 6,000 mm
    重量(总计): 约14,000 kg
  • SR110细杆式提拉机

    SR110细杆式提拉机的工作方式与区熔系统类似。该系统使用一个在高频感应线圈下直径为100毫米的多晶硅棒(源棒)。根据硅棒的长度,在多个拉动工艺中可以产生特定数量的细杆;然后这些细杆被用作西门子下游工艺中的细丝。通过隔离阀将接收炉体与工艺炉体分开,可以将完成的细杆取出,并立即开始下一个工艺。通过引入扩散到熔体中的工艺气体可以对细杆进行掺杂处理。 

    改良后的细杆式提拉机设计采用两个直径约为50毫米的源杆,并可以从每个源杆上拉出细杆。

    产品数据概览:

    材料:硅 

    细杆    
    长度: 最长3200毫米 
    直径: 大约8毫米
       
       
    源杆  
    长度: 最长 1,000 mm
    直径: 100 mm (4")
    极限真空度: 5 x 10-2 mbar
    最大过压: 0.35 bar(g)

    发电机 
    输出电压: 30 kW
    频率: 2.8 MHz
       
       
    上拉式进料  
    拉动速度: 最高60毫米/分钟
    下拉式进料  
    拉动速度: 最高 10 mm/min
    转速: 高达 20 rpm

    尺寸规格
     
    高度: 7,300 mm
    宽度: 1,820 mm
    深度: 1,250 mm
    占地面积(总计): 2,500 mm x 2,800 mm
    重量(总计): 约6,000 kg
       

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